Gyártó: Laser Laboratorien Göttingen e.V.

Duplacsöves excimer lézer, az egyik ArF, amásik KrF gáztöltettel üzemel.

Max. ismétlési frekvencia 50 Hz

ArF: 193 nm hullámhossz, 20 ns impulzushossz, max. 150 mJ impulzusenergia

KrF:248 nm hullámhossz, 18 ns impulzushossz, max. 250 mJ impulzusenergia