A pásztázó elektronmikroszkóp olyan elektronoptikai eszköz, amely a vizsgált tárgy felszínének meghatározott területét irányított, vékony elektronnyalábbal pontos minta szerint végigpásztázza, az elektronsugár és a tárgy kölcsönhatásából származó jeleket erre alkalmas detektorokkal érzékeli és ezeket megfelelően feldolgozva, az elektronsugár mozgásával szinkronizálva képileg kijelzi. A Hitachi S-4700 egy hideg téremissziós, 0.5-30 kV gyorsítófeszültségű mikorszkóp, ami 20x-500.000x nagyításra képes 1.5-1.2 nm felbontóképesség mellett. A műszer a következő detektorokkal rendelkezik:

A műszer mindemellett rendelkezik még egy  Röntec QX2 energiadiszperzív spektrométerrel, ami további analitikai vizsgálatokat tesz lehetővé.