Gyártó: Veeco

Stylus (tűs) profilométer; görbületi sugarak: 0,2 µm, 2,5 µm és 5 µm;

-max. mintamagasság: 25 mm;

- szkennelési hossz: 50 µm - 50 mm; laterális felbontás (lépésköz): 33nm;

-legnagyobb vertikális méréstartomány 260 µm;

-vertikális felbontóképesség: 1 Å/6,5 µm, 40 Å/260 µm;

-nyomóerő: 1-15 mg;

-3D szkennelési lehetőség, legkisebb vonalköz 3,15 µm