Műszer
DEKTA K 8 Advanced Development® Profilométer (Veeco)
TUDOMÁNYÁGAK
A MŰSZER AZ ALÁBBI SZERVEZETI EGYSÉGHEZ TARTOZIK
MŰSZER ÁLLAPOTA
MŰSZERREL KAPCSOLATOS INFORMÁCIÓK
A Dektak 8 tűs, kontakt profilométer segítségével különböző minták felszínének vonal menti, ill. három-dimenziós, nanométer pontosságú feltérképezésére van lehetőség. A topográfia alapján meghatározható a felület görbülete, érdessége, egyes felszíni struktúrák magassága/térfogata, vékonyrétegek vastagsága (kitakart él mentén).
A műszer főbb technikai jellemzői:
Pásztázási hossz: 50μm – 50mm
Pásztázási sebesség: 3 – 200 s
Adatrögzítés: 300 adatpont/s
Vertikális tartomány: 50Å – 262μm
Vertikális felbontás (tartományonként): 1Å/6,55μm;
10Å/65,5μm; 40Å/262μm
Tű nyomóerő: 1 – 15 mg
Tű görbületi sugara: 0,2μm; 2,5μm; 5,0μm;
Minta méret (max.): 200mm × 200mm × 25,4mm
Mintatartó forgatás: 360°
Érzékelő pozícionálás: 200mm (x és y tengely mentén)
Kiegészítők és tartozékok:
Dektak (Microsoft® Windows XP®): interaktív adatrögzítő program
Vision®32: 2-D és 3-D képfeldolgozó program
Egyszeri vagy nagyszámú (>1000), automatizált pásztázási lehetőség Kalibrációs standardok
Rezgésmentes asztal, kompresszorral